[实用新型]一种晶片刻蚀机

摘要

本实用新型公开了一种晶片刻蚀机，包括外壳，所述外壳的顶端一侧内壁上固定有箱体，箱体与外壳的一侧设有开口，箱体通过开口与外界相互连通，箱体的底端内壁上固定有储液槽，储液槽的顶端设有盖板，外壳的顶端远离箱体的一侧内壁上固定有固定座，箱体的顶端靠近固定座的一侧内壁上开有水平设置的放置槽，放置槽的一端延伸至固定座的内部，放置槽内设有抽风机，放置槽远离箱体的一侧侧壁上开有水平设置的凹槽，本装置能够将晶片刻蚀产生的有毒气体进行有效处理，防止有毒气体对空气造成污染，同时对工作人员的身体健康造成危害，安全性高，还能根据需要对吸附层进行更换，防止吸附层使用时间较长发生失效，更换方便，实用性强。

主权项

1.一种晶片刻蚀机，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)的顶端一侧内壁上固定有箱体(2)，箱体(2)与外壳(1)的一侧设有开口(14)，箱体(2)通过开口(14)与外界相互连通，箱体(2)的底端内壁上固定有储液槽(3)，储液槽(3)的顶端设有盖板(4)，外壳(1)的顶端远离箱体(2)的一侧内壁上固定有固定座(11)，箱体(2)的顶端靠近固定座(11)的一侧内壁上开有水平设置的放置槽(5)，放置槽(5)的一端延伸至固定座(11)的内部，放置槽(5)内设有抽风机(6)，放置槽(5)远离箱体(2)的一侧侧壁上开有水平设置的凹槽(7)，凹槽(7)远离放置槽(5)的一侧侧壁上开有两个水平设置的连接槽(15)，两个连接槽(15)相互远离，凹槽(7)通过连接槽(15)与外界相互连通，连接槽(15)的内部滑动连接有水平设置的光触媒层(16)，光触媒层(16)滑动连接在连接槽(15)内，连接槽(15)的内部远离凹槽(7)的一侧设有挡板(17)，固定座(11)的中间位置远离凹槽(7)的一侧侧壁上开有水平设置的活动槽(8)，活动槽(8)位于两个连接槽(15)之间，外壳(1)的顶端靠近活动槽(8)的一侧外壁上固定有驱动电机(12)，驱动电机(12)的输出轴连接有水平设置的丝杠(10)，丝杠(10)的一端穿过外壳(1)转动连接在活动槽(8)的内壁上，丝杠(10)上螺纹连接有水平设置的连接杆(9)，连接杆(9)的两端分别穿过活动槽(8)的两侧内壁延伸至连接槽(15)内。