[实用新型]大尺寸硅片非接触式吸取机构

摘要

本实用新型公开了一种大尺寸硅片非接触式吸取机构，解决了现有吸盘容易在吸取硅片时导致硅片破裂和不能适应多规格硅片吸取要求的问题。在吸盘面板（1）中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板（7），封堵圆板固定骡丝（6）从下向上依次穿过中心孔封堵圆板、吸盘面板（1）后与设置在圆柱状气室（2）底板上的螺钉孔（5）螺接，在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间的封堵圆板固定螺丝上套接有环形垫片（11），在吸盘面板与中心孔封堵圆板之间形成有环形喷气口（8），在中心孔封堵圆板外侧的吸盘面板的下底面上设置有三个弹性垫杯（9），在弹性垫杯与吸盘面板之间设置有弹性卡环（10）。特别适合于在光伏自动化生产线中使用。

主权项

1.一种大尺寸硅片非接触式吸取机构，包括带中心孔的吸盘面板（1），在吸盘面板（1）上固定扣接有圆柱状气室（2），圆柱状气室（2）与吸盘面板（1）上的中心孔连通在一起，在圆柱状气室（2）的顶端中央设置有中央进气口（3），其特征在于，在吸盘面板（1）中心孔的正下方设置有中心孔封堵圆板（7），封堵圆板固定螺丝（6）从下向上依次穿过中心孔封堵圆板（7）、吸盘面板（1）后与设置在圆柱状气室（2）底板上的螺钉孔（5）螺接在一起，在吸盘面板（1）与中心孔封堵圆板（7）之间的封堵圆板固定螺丝（6）上套接有环形垫片（11），在吸盘面板（1）与中心孔封堵圆板（7）之间形成有环形喷气口（8），在中心孔封堵圆板（7）外侧的吸盘面板（1）的下底面上设置有三个弹性垫杯（9），三个弹性垫杯（9）是呈三角形布设的，弹性垫杯（9）的下底面是低于中心孔封堵圆板（7）的下底面的，在弹性垫杯（9）与吸盘面板（1）之间设置有弹性卡环（10）。