[实用新型]利用液态金属抛光液进行大平面抛光的装置

摘要

本实用新型公开了利用液态金属抛光液进行大平面抛光的装置，包括工件、磨盘、负电极、主轴、电机、喷头、液态金属输送管、液态金属泵、回收孔、正电极、电热丝、抛光槽和工作平台，所述正电极安装在工作平台内；所述磨盘安装在正电极上方的工作平台上，工件安装磨盘正上方的主轴上；所述负电极固定在工件上；主轴上端连接驱动主轴转动的电机，电机安装在三自由度平台上；本实用新型通过采用液态金属抛光液进行抛光，不同于传统的抛光，液态金属抛光液中的金属离子通过正负电极所产生的电场吸附在接触表面上，对待抛光区域进行柔性抛光，减少对抛光面的损伤，抛光精度更高。

主权项

1.一种利用液态金属抛光液进行大平面抛光的装置，其特征在于：包括工件(1)、磨盘(2)、负电极(3)、主轴(4)、电机(5)、喷头(6)、液态金属输送管(7)、液态金属泵(8)、回收孔(9)、正电极(10)、电热丝(11)、抛光槽(13)和工作平台(12)，所述正电极(10)安装在工作平台(12)内；所述磨盘(2)安装在正电极(10)上方的工作平台(12)上，所述磨盘(2)上设有有多个孔，工作平台(12)内盛有液态金属抛光液且液态金属抛光液通过磨盘(2)孔流动到工作平台(12)内；工件(1)安装磨盘(2)正上方的主轴(4)上；所述负电极(3)固定在工件(1)上；所述主轴(4)上端连接驱动主轴(4)转动的电机(5)，电机(5)安装在三自由度平台上并受三自由度平台控制进行X轴、Y轴和Z轴三个方向的自由U运动；所述抛光槽(13)内设置有电热丝(11)，所述抛光槽(13)内还安装用于检测抛光槽(13)内液体金属抛光液温度的温度传感器，电热丝(11)液态金属抛光液进行加热，使得液态金属抛光液的温度比液态金属抛光液熔点高5℃以上，且液态金属抛光液的温度比液态金属抛光液熔点高不超过10℃；液态金属输送管(7)连接存有液态金属抛光液的抛光槽(13)和液态金属泵(8)的入口，液态金属管的输出管连接喷头(6)和液态金属泵(8)的出口，喷头(6)设置在磨盘(2)一侧并且正对磨盘(2)和工件(1)的接触表面，正电极(10)和负电极(3)工作时将喷头(6)喷洒到磨盘(2)和工件(1)接触表面上的液态金属抛光液中的金属离子吸附在表面上。