[实用新型]一种高纯度三氯化硼制备装置有效
| 申请号： | 201820760453.8 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208292672U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 许少鹏;何经余 | 申请（专利权）人： | 福建久策气体集团有限公司 |
| 主分类号： | C01B35/06 | 分类号： | C01B35/06 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350109 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种高纯度三氯化硼制备装置，包括控制模块、原料气化系统、精馏净化系统、冷水循环系统、废液回收系统、尾气处理系统、产品储存系统；所述原料气化系统设有与精馏净化系统相通的主、备两套加热装置，所述冷水循环系统与精馏净化系统相连以维持其精馏所需的冷凝温度；所述精馏净化系统包括脱重精馏塔、脱轻精馏塔；所述脱重精馏塔的塔釜与废液回收系统相连以便将冷凝产生的四氯化硅作为废液排出；所述脱轻精馏塔的尾气出口与尾气处理系统以排出废气；所述脱轻精馏塔的塔釜与产品储存系统相连以存储冷凝产生的高纯度三氯化硼产品；本实用新型能制备电子工业用高纯三氯化硼；产品的纯度高达99.9995%（5.5N）,总杂质含量低于5ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 精馏 净化系统 三氯化硼 冷凝 高纯度 精馏塔 脱轻 废液回收系统 冷水循环系统 尾气处理系统 本实用新型 脱重精馏塔 产品储存 原料气化 制备装置 排出 塔釜 加热装置 控制模块 四氯化硅 尾气出口 主 备 电子工业 废液 高纯 两套 制备 废气 存储 相通 | ||
【主权项】：
1.一种高纯度三氯化硼制备装置，其特征在于：所述制备装置包括控制模块、原料气化系统、精馏净化系统、冷水循环系统、废液回收系统、尾气处理系统、产品储存系统；所述原料气化系统设有与精馏净化系统相通的主、备两套加热装置，所述加热装置加热原料瓶以使原料瓶向精馏净化系统输出带压力的三氯化硼蒸气；当其中一套加热装置的原料瓶输出蒸气压力不足时，改由另一套加热装置的原料瓶向精馏净化系统输出蒸气；所述冷水循环系统与精馏净化系统相连以维持其精馏所需的冷凝温度；所述精馏净化系统包括与原料气化系统相连的脱重精馏塔、与脱重精馏塔以三氯化硼出口管道相连的脱轻精馏塔；所述脱重精馏塔的塔釜与废液回收系统相连以便将冷凝产生的四氯化硅作为废液排出；所述脱轻精馏塔的尾气出口与尾气处理系统以排出废气；所述脱轻精馏塔的塔釜与产品储存系统相连以存储冷凝产生的高纯度三氯化硼产品。
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