[实用新型]一种新型高效多晶铸锭设备有效

专利信息
申请号: 201820760820.4 申请日: 2018-05-22
公开(公告)号: CN209443103U 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 刘瑞柱;刘郭军;郭宽新;方圆;张永坦;刘长辉;赵广飞;刘攀;马辉;李富刚 申请(专利权)人: 河南盛达光伏科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 455000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种新型高效多晶铸锭设备,其结构包括石英坩埚,所述石英坩埚的内部设置了铺底碎片料层、块状籽晶层、碎籽晶层、保护层和多晶硅层,所述块状籽晶层的厚度为5‑30mm;所述铺底碎片料层铺设于石英坩埚的内底部,所述块状籽晶层设于铺底碎片料层的上侧,且所述块状籽晶层的内部设有块状籽晶,所述块状籽晶的大小相同,所述碎籽晶层内部设有碎籽晶且填充于块状籽晶层的缝隙内,所述保护层设于块状籽晶层的上侧。半熔高效多晶铸锭过程中使用的籽晶由单纯的块状或者碎料优化为块状和碎料的有机结合,并控制化料时坩埚底部的温度,使熔融硅液界面更平,且可以有效改善长晶初期的位错生成。
搜索关键词: 籽晶层 籽晶 多晶铸锭 石英坩埚 碎片料 保护层 碎料 本实用新型 多晶硅层 内部设置 熔融硅液 有机结合 化料 位错 坩埚 填充 铺设 优化
【主权项】:
1.一种新型高效多晶铸锭设备,其结构包括石英坩埚(1),其特征在于:所述石英坩埚(1)的内部设置了铺底碎片料层(2)、块状籽晶层(3)、碎籽晶层(4)、保护层(5)和多晶硅层(6),所述块状籽晶层(3)的厚度为5‑30mm;所述铺底碎片料层(2)铺设于石英坩埚(1)的内底部,所述块状籽晶层(3)设于铺底碎片料层(2)的上侧,且所述块状籽晶层(3)的内部设有块状籽晶(7),所述块状籽晶(7)的大小相同,所述碎籽晶层(4)内部设有碎籽晶且填充于块状籽晶层(3)的缝隙内,所述保护层(5)设于块状籽晶层(3)的上侧,所述多晶硅层(6)设于保护层(5)的上侧,且所述多晶硅层(6)内部为含有P型掺杂剂的多晶硅料。
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