[实用新型]一种硅片退火用石英舟有效
| 申请号： | 201820769927.5 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN208532971U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王永超;郭城;吕明;李忠泉 | 申请（专利权）人： | 济南科盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黄晓敏 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种硅片退火用石英舟，包括底部托架，上部托架，上部横梁，端部框架，端部挡板，底部横梁，所述的底部托架为半圆弧槽型框架结构，所述的上部托架为四方形中空框架结构，所述的上部横梁固定在上部托架框架之间，所述的底部横梁固定在底部托架之间，所述的端部挡板固定在上部托架与底部托架之间，所述的端部框架固定在底部托架和上部托架之间；石英舟可同时放置多片单晶硅片，结构简单，取拿方便，并且材质在高温环境下不会对硅片材质发生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 底部托架 上部托架 石英舟 硅片 退火 底部横梁 端部挡板 端部框架 上部横梁 中空框架结构 半圆弧槽 单晶硅片 高温环境 框架结构 四方形 多片 | ||
【主权项】：
1.一种硅片退火用石英舟，其特征在于：包括底部托架，上部托架，上部横梁，端部框架，端部挡板，底部横梁；所述的底部托架为半圆弧槽型框架结构；所述的上部托架为四方形中空框架结构；所述的上部横梁固定在上部托架纵向框架之间；所述的底部横梁固定在底部托架框架之间；所述的端部挡板固定在上部托架与底部托架之间；所述的端部框架固定在底部托架和上部托架之间。
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