[实用新型]一种探针台用防撞报警机构有效
| 申请号： | 201820771986.6 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208240621U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 薛昌和;何志强 | 申请（专利权）人： | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶圆测试领域，特别涉及一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱内的烤架，烤架一端设有用于取出半导体晶圆的出口，所述烤架内壁两侧设有与半导体晶圆边缘形状配合的弧形内壁，弧形内壁上设有用于卡住半导体晶圆的卡槽，出口与其正对的烤箱内壁之间设有支架，支架上设有用于感应半导体晶圆位置变化的传感器。本实用新型的目的是提供一种探针台用防撞报警机构，其具有降低半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤概率的优点。本实用新型具有以下有益效果：提高了烤架的结构强度，使其不易因高温或搬运受力而变形，延长了烤架的使用寿命；能够对半导体晶圆起到保护作用，避免半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体晶圆 烤架 本实用新型 报警机构 烤箱内壁 探针台 防撞 弧形内壁 支架 撞伤 边缘形状 测试领域 内壁两侧 使用寿命 位置变化 传感器 受力 正对 卡住 搬运 变形 出口 取出 概率 配合 | ||
【主权项】：
1.一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱（1）内的烤架（2），烤架（2）一端设有用于取出半导体晶圆（3）的出口（21），其特征是：所述烤架（2）内壁两侧设有与半导体晶圆（3）边缘形状配合的弧形内壁（2a），弧形内壁（2a）上设有用于卡住半导体晶圆（3）的卡槽（2b），出口（21）与其正对的烤箱（1）内壁之间设有支架（4），支架（4）上设有用于感应半导体晶圆（3）位置变化的传感器（5）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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