[实用新型]一种激光辅助加热生长晶体的装置

摘要

本实用新型提供了一种激光辅助加热生长晶体的装置，包括激光心部加热装置、氙灯表面加热装置、底座和真空腔体，其中：激光心部加热装置：激光聚焦镜头安装于镜头支架上，并通过光纤与激光器相连，上支撑杆固定于镜头支架下，上支撑杆与激光聚焦镜头之间设有透镜；送料棒悬挂于上支撑杆下端；籽晶棒位于送料棒的下方，并固定在下支撑杆上，送料棒与籽晶棒之间形成悬浮熔区；氙灯表面加热装置：氙灯固定装置位于镜头支架和底座之间，氙灯设置在椭球反光镜凹面一侧；真空腔体：上真空腔体、石英管和下真空腔体之间形成一个真空腔体。本实用新型通过结构和功能设计解决了大尺寸试棒晶体的生长难题，使其可生长直径达30mm的晶体，以利于实现工程化应用。

主权项

1.一种激光辅助加热生长晶体的装置，其特征在于：所述装置包括激光心部加热装置(1)、氙灯表面加热装置(2)、底座(3)和真空腔体(4)，其中：激光心部加热装置(1)由激光聚焦镜头(11)、镜头支架(12)、上支撑杆(13)和光纤(15)组成；激光聚焦镜头(11)安装于镜头支架(12)上，并通过光纤(15)与激光器(18)相连；上支撑杆(13)为空心结构，通过法兰和密封套(16)固定于镜头支架(12)下端，上支撑杆(13)与激光聚焦镜头(11)之间设有透镜；送料棒(33)为空心结构，悬挂于上支撑杆(13)下端；籽晶棒(34)位于送料棒(33)的下方，并固定在下支撑杆(35)上，下支撑杆(35)固定在底座(3)上，送料棒(33)与籽晶棒(34)之间形成悬浮熔区(36)；氙灯表面加热装置(2)由氙灯(21)、椭球反光镜(22)和氙灯固定装置(23)组成，氙灯固定装置(23)位于镜头支架(12)和底座(3)之间，用于固定氙灯(21)和椭球反光镜(22)，氙灯(21)设置在椭球反光镜(22)凹面一侧，且正对送料棒(33)；真空腔体(4)由上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)组成，上真空腔体(41)和下真空腔体(43)将石英管(42)固定于中间；上真空腔体(41)、石英管(42)和下真空腔体(43)之间通过法兰和真空胶圈相连通，形成一个真空腔体；上支撑杆(13)下端、送料棒(33)、籽晶棒(34)与下支撑杆(35)上端均处于石英管(42)内部。