[实用新型]一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，所述卡扣盖适配器的左侧连接设置有石英管，所述卡扣盖适配器上设置有微波发生器，所述卡扣盖适配器为管状，所述卡扣盖适配器包括前部、中部和后部三部分，所述前部的外部直径为36mm，其长度为9.5mm，所述中部的外部直径为40mm，其长度为9.5mm，所述后部的外部直径为36mm，其长度为2.5mm；使用时，通过与石英管连接，不仅可固定和保护石英管，还不会挡住石英管，减少了发红片，降低了返工率；本实用新型具有保护石英管、提高产品合格率的优点。

主权项

1.一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器，其特征在于：所述卡扣盖适配器（1）的左侧连接设置有石英管，所述卡扣盖适配器（1）上设置有微波发生器，所述卡扣盖适配器（1）为管状，所述卡扣盖适配器（1）包括前部（11）、中部（12）和后部（13）三部分，所述前部（11）的外部直径为36mm，其长度为9.5mm，所述中部（12）的外部直径为40mm，其长度为9.5mm，所述后部（13）的外部直径为36mm，其长度为2.5mm。