[实用新型]一种自动硅片插片机专用整形装置有效
申请号: | 201820781434.3 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN208400828U | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 施文周 | 申请(专利权)人: | 江苏利奥新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动硅片插片机专用整形装置,包括支架、固定杆、硅片和过滤网,所述驱动轮通过齿形皮带与传动轮相连接,且齿形皮带的外侧设置有调节轮,所述固定杆固定于固定板的上方,且固定板的外侧设置有按钮,所述固定板通过活动杆与连接杆相连接,且连接杆的下方安装有防护垫,所述硅片设置于齿形皮带的中间,所述过滤网安装于固定板的外侧,且过滤网的下方设置有清理板,所述清理板设置于固定板的外侧。该自动硅片插片机专用整形装置两块固定板对称安装在硅片插片机上的硅片输送皮带的两边,两个驱动电机安装在两块固定板的下方,两条皮带分别缠绕在两块固定板对应的驱动轮、传动轮和调节轮之间,调节轮可以调节皮带的松紧。 | ||
搜索关键词: | 固定板 硅片 齿形皮带 整形装置 插片机 过滤网 外侧设置 传动轮 固定杆 连接杆 清理板 驱动轮 皮带 松紧 本实用新型 对称安装 硅片输送 两条皮带 驱动电机 防护垫 活动杆 按钮 插片 支架 缠绕 两边 | ||
【主权项】:
1.一种自动硅片插片机专用整形装置,包括支架(1)、固定杆(9)、硅片(14)和过滤网(15),其特征在于:所述支架(1)的上方安装有固定板(2),且支架(1)的底部设置有驱动电机(3),所述驱动电机(3)通过转轴(4)与驱动轮(5)相连接,且驱动轮(5)设置于固定板(2)的上方,所述驱动轮(5)通过齿形皮带(6)与传动轮(7)相连接,且齿形皮带(6)的外侧设置有调节轮(8),所述调节轮(8)设置于固定板(2)的上方,所述固定杆(9)固定于固定板(2)的上方,且固定板(2)的外侧设置有按钮(10),所述固定板(2)通过活动杆(11)与连接杆(12)相连接,且连接杆(12)的下方安装有防护垫(13),所述硅片(14)设置于齿形皮带(6)的中间,所述过滤网(15)安装于固定板(2)的外侧,且过滤网(15)的下方设置有清理板(16),所述清理板(16)设置于固定板(2)的外侧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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