[实用新型]一种光学芯片组以及光学芯片组研磨尺寸检查装置有效
| 申请号： | 201820783587.1 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN209648358U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张晓飞 | 申请（专利权）人： | 深圳鑫振华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 44447 深圳益诺唯创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖婉萍<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光学芯片组研磨尺寸检查装置。所述光学芯片研磨尺寸检查装置包括：数码光学显微镜，用于对所述光学芯片组的表面进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线以预设角度入射至所述光学芯片组的端面上；真空夹具，用于固定至少一个所述光学芯片组；所述真空夹具包括吸附座、吸气管、吸气泵，所述吸附座通过所述吸气管与所述吸气泵连通。本实用新型还提供一种光学芯片组，所述光学芯片组研磨尺寸检查装置用于检查所述光学芯片组的研磨尺寸。本实用新型提供的光学芯片组研磨尺寸检查装置能够检查多条光学芯片组的研磨尺寸，可以检查到光学芯片组研磨尺寸不良和光波导不良。 | ||
| 搜索关键词： | 光学芯片 研磨 尺寸检查装置 本实用新型 真空夹具 吸附座 吸气泵 吸气管 反光镜 光学显微镜 反射光线 检查 光波导 入射 预设 成像 连通 数码 观察 | ||
【主权项】：
1.一种光学芯片组，其特征在于，所述光学芯片组呈扁平的长条状；所述光学芯片组包括沿长度方向相对设置且平行的上表面和下表面；以及垂直于所述长度方向且相对设置的端面；所述光学芯片组为自光学晶圆镜片上按照预设的宽度垂直于所述光学晶圆镜片切割获得的扁平的长条状镜片经研磨后形成。/n
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