[实用新型]一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚有效
申请号: | 201820785089.0 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN208201176U | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 孔令歆;徐春良;王欢;肖如镜;曹君雷 | 申请(专利权)人: | 山东伟基炭科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 刘乃东 |
地址: | 250102 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚,包括坩埚盖板组合、底板、垂直设置的相连接的四周的侧板,所述侧板上部在靠近上边缘位置设有若干排气口,所述坩埚盖板组合包括石墨板、中间盖板,石墨板与侧板上部连接,石墨板中间设有石墨板中间孔,中间盖板的外缘尺寸大于石墨板中间孔尺寸,中间盖板设于石墨板中间孔下部并与靠近石墨板中间孔外围的周边连接,中间盖板设有进气孔,所述中间盖板采用钼板。本实用新型降炭效果好,制造和使用成本低,坩埚盖板组合结构强度好,适于大批量生产和使用。 | ||
搜索关键词: | 石墨板 中间盖板 中间孔 坩埚盖板 本实用新型 多晶硅铸锭 侧板上部 组合坩埚 底板 上边缘位置 垂直设置 周边连接 组合结构 进气孔 排气口 侧板 钼板 外围 制造 生产 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚,包括坩埚盖板组合、底板、垂直设置的相连接的四周的侧板,其特征是,所述侧板上部在靠近上边缘位置设有若干排气口,所述坩埚盖板组合包括石墨板、中间盖板,石墨板与侧板上部连接,石墨板中间设有石墨板中间孔,中间盖板的外缘尺寸大于石墨板中间孔尺寸,中间盖板设于石墨板中间孔下部并与靠近石墨板中间孔外围的周边连接,中间盖板设有进气孔,所述中间盖板采用钼板。
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