[实用新型]一种基板异常检测装置有效
申请号: | 201820793067.9 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN208383076U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 潘浩;刘厚文;林祥;李龙 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提出一种基板异常检测装置,包括支撑板、粘贴于支撑板下方的耐刮伤层、调节支撑板高度位置的线性马达、连接支撑板和线性马达的连接器、位于耐刮伤层下方且用于测距的至少一个间距感应器以及与用于处理间距感应器测得的数据的监测系统;所述支撑板可随着连接器上下移动;所述监测系统与间距感应器连接。本实用新型提供一种基板异常检测装置,通过检测基板与掩膜板之间的间距数值,进而可以判定基板有无异常,当间距数值超出预警阈值时,检测装置会报警,及时拦截住异常基板,防止掩膜板被刮伤。 | ||
搜索关键词: | 支撑板 基板异常检测 间距感应器 基板 连接器 本实用新型 监测系统 线性马达 耐刮伤 掩膜板 测距 连接支撑板 高度位置 检测装置 上下移动 阈值时 刮伤 粘贴 判定 拦截 预警 报警 检测 | ||
【主权项】:
1.一种基板异常检测装置,其特征在于:包括支撑板、粘贴于支撑板下方的耐刮伤层、调节支撑板高度位置的线性马达、连接支撑板和线性马达的连接器、位于耐刮伤层下方且用于测距的至少一个间距感应器以及与用于处理间距感应器测得的数据的监测系统;所述支撑板可随着连接器上下移动;所述监测系统与间距感应器连接。
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