[实用新型]一种在位微距测量装置有效
| 申请号： | 201820795657.5 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208139988U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 傅刚;童维超;陶洋;喻甫军;廖路 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种在位微距测量装置，该测量装置包括固定底板、夹具底座、夹具定位片、转接板、高度调节机构、安装座、气动微测探头和数采显示器；所述的固定底板、夹具底座、夹具定位片、转接板、高度调节机构从下到上依次叠加并固定连接，所述的安装座固定在高度调节机构的移动连接块上，气动微测探头固定在安装座上，气动微测探头跟随高度调节机构上下移动，气动微测探头测量的数据传输至数采显示器。该测量装置是一种用于超精密车床上测量金属薄膜样品厚度的在位微距测量装置，可用于在位测量薄膜样品表面与定位基准面的相对高度，能够间接获得薄膜样品厚度尺寸，可以提高金属薄膜样品的生产效率和合格率，减少操作者的劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 高度调节机构 微距测量装置 在位 安装座 薄膜样品 测量装置 固定底板 夹具底座 夹具定位 转接板 显示器 金属薄膜样品 本实用新型 超精密车床 移动连接块 测量薄膜 测量金属 定位基准 上下移动 生产效率 数据传输 样品表面 依次叠加 可用 合格率 测量 | ||
【主权项】：
1.一种在位微距测量装置，其特征在于：所述的在位微距测量装置包括固定底板（1）、夹具底座（2）、夹具定位片（3）、转接板（4）、高度调节机构（5）、安装座（6）、气动微测探头（7）和数采显示器（8）；其连接关系是：所述的固定底板（1）、夹具底座（2）、夹具定位片（3）、转接板（4）、高度调节机构（5）从下到上依次叠加并固定连接，所述的安装座（6）固定在高度调节机构（5）的移动连接块（51）上，气动微测探头（7）固定在安装座（6）上，气动微测探头（7）跟随高度调节机构（5）上下移动，气动微测探头（7）测量的数据传输至数采显示器（8）。
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