[实用新型]一种软膜替换及纳米压印一体设备有效
| 申请号： | 201820800168.4 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208421515U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘晓成;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 徐典 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种软膜替换及纳米压印一体设备，包括软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，压印工位设为两排，层叠架与其中一排压印工位齐平，层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区。采用此实用新型实现新旧软膜替换，设备成本低，各部件间布局合理，运作效率高，降低人员工作强度。 | ||
| 搜索关键词： | 软膜 压印工位 存放区 层叠架 载盘 取料机械手 纳米压印 晶圆 废品 替换 一体设备 工位 两排 复制 本实用新型 设备成本 运作效率 排压 齐平 配合 平行 送入 | ||
【主权项】：
1.一种软膜替换及纳米压印一体设备，其特征在于，包括：软膜复制工位；压印工位，若干个独立的压印工位用于进行纳米压印，所述压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区；层叠架，所述压印工位设为两排，所述层叠架与其中一排压印工位齐平，所述层叠架上具备晶圆存放区、废品软膜存放区；取料机械手，设置在两排平行的压印工位中间，所述取料机械手将软膜存放区上的软膜与载盘存放区上的载盘配合，并将配合后软膜及载盘送入压印工位，所述取料机械手将晶圆在压印工位、晶圆存放区之间转移，同时也将压印工位上的废品软膜转移至层叠架上的废品软膜存放区。
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