[实用新型]固态摄像元件

摘要

本实用新型提供一种固态摄像元件，在具有沿纵向层叠的两个以上半导体衬底的固态摄像元件中，通过微细的插塞将半导体衬底彼此之间电连接。将覆盖具有受光元件的半导体衬底(SB1)的第一背面的绝缘膜(IF1)与覆盖搭载有半导体元件的半导体衬底(SB2)的第二主面的层间绝缘膜(IL2)彼此接合。在该接合面，贯穿绝缘膜(IF1)的插塞(PG1)与埋入层间绝缘膜(IL2)的上表面的连接孔内的插塞(PG2)接合，上述受光元件与上述半导体元件经由插塞(PG1、PG2)而电连接。

主权项

1.一种固态摄像元件，其具备在像素区域内排列的多个像素，该固态摄像元件的特征在于，具有：第一半导体衬底，其具备第一主面及所述第一主面的相反侧的第一背面；第一受光元件，其形成在所述第一半导体衬底的所述多个像素各自的所述第一主面；第一绝缘膜，其覆盖所述第一半导体衬底的所述第一背面；第一导电性连接部，其贯穿所述第一绝缘膜，且与所述第一受光元件电连接；第二半导体衬底，其具备第二主面及所述第二主面的相反侧的第二背面；半导体元件，其形成在所述第二半导体衬底的所述第二主面附近；第二层间绝缘膜，其覆盖所述第二半导体衬底的所述第二主面；和第二导电性连接部，其埋入所述第二层间绝缘膜的上表面的第一连接孔内，且与所述半导体元件电连接，在包含所述第一半导体衬底、所述第一导电性连接部及所述第一绝缘膜在内的第一层叠体与包含所述第二半导体衬底、所述第二导电性连接部及所述第二层间绝缘膜在内的第二层叠体的接合面，所述第一绝缘膜与所述第二层间绝缘膜彼此接合，所述第一导电性连接部与所述第二导电性连接部彼此接合。