[实用新型]一种用于晶片的定位筛盘结构

摘要

本实用新型系提供一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体和密封盖板，筛盘本体上设有n个真空槽和n个真空管道，2≤n≤6，各个真空管道分别连通各个真空槽，筛盘本体中与真空槽相对的一面设有容料槽，容料槽与n个真空槽的位置对应匹配；每个真空槽内均设有k个真空吸孔，容料槽内设有nk个定位凹槽，各个真空吸孔对应连接各个定位凹槽。本实用新型设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有抽真空管道，能够有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

主权项

1.一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，包括筛盘本体(10)和密封盖板(20)，所述筛盘本体(10)上设有n个真空槽(11)和n个真空管道(12)，2≤n≤6，各个所述真空管道(12)分别连通各个所述真空槽(11)，所述筛盘本体(10)中远离所述真空槽(11)的一面设有容料槽(13)，所述容料槽(13)与n个所述真空槽(11)的位置对应匹配，所述密封盖板(20)固定连接于所述筛盘本体(10)靠近所述真空槽(11)的一侧；每个所述真空槽(11)内均设有k个真空吸孔(111)，所述容料槽(13)内设有nk个定位凹槽(131)，各个所述真空吸孔(111)对应连接各个所述定位凹槽(131)。