[实用新型]一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统

摘要

一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统，由于使用两个图像传感器通过光学成像装置，分别获取晶圆的整体图像和边缘图像，依据晶圆的整体图像和边缘图像获取晶圆承片台的调节参数，进而完成晶圆对准，使得可采用图像分辨率相对较低的图像传感器实现晶圆对准，降低生成产成本的同时提高晶圆对准效率。

主权项

1.一种用于晶圆对准的光学成像装置，其特征在于，包括物镜组、分光镜、振镜、第一透镜和第二透镜；所述物镜组聚焦视场的光线后透射；所述分光镜从所述物镜组透射出的光线分出第一光线和第二光线；所述第一光线为所述分光镜反射所述物镜组聚焦后透射的所述视场的光线，所述第二光线为所述分光镜透射所述物镜组聚焦后透射的所述视场的光线；所述第一透镜透射所述第一光线，用于第一传感器接收所述第一光线；所述第二透镜透射所述第二光线；所述振镜反射所述第二透镜透射的所述第二光线；所述第二透镜还用于透射所述振镜反射所述第二透镜透射的所述第二光线；所述分光镜还用于反射所述第二透镜透射的所述振镜反射的所述第二光线，用于第二传感器接收所述第二光线。