[实用新型]一种光相位调制器和光束扫描器有效
申请号: | 201820815624.2 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN208283680U | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | 王玉冰;秦莉;单肖楠;宋俊峰;王立军 | 申请(专利权)人: | 王立军;肖大光 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光相位调制器和光束扫描器,所述光相位调制器包括:衬底;在所述衬底上按照第一方向设置的条形光波导结构;覆盖在部分所述条形光波导结构上的石墨烯薄膜;在第二方向上设置在所述条形光波导结构一侧的第一金属电极,和设置在所述条形光波导结构另一侧的第二金属电极;所述第一金属电极和所述第二金属电极均与所述石墨烯薄膜接触连接;其中,所述第一方向和所述第二方向均平行于所述衬底,且所述第一方向与所述第二方向垂直。该光相位调制器采用石墨烯薄膜为加热材料,在实现相位调制的前提下,极大程度的提高了加热效率和器件的工作速度。 | ||
搜索关键词: | 光相位调制器 条形光波导 金属电极 石墨烯薄膜 衬底 光束扫描器 本实用新型 方向垂直 方向设置 加热材料 加热效率 接触连接 相位调制 平行 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种光相位调制器,其特征在于,所述光相位调制器包括:衬底;在所述衬底上按照第一方向设置的条形光波导结构;覆盖在部分所述条形光波导结构上的石墨烯薄膜;在第二方向上设置在所述条形光波导结构一侧的第一金属电极,和设置在所述条形光波导结构另一侧的第二金属电极;所述第一金属电极和所述第二金属电极均与所述石墨烯薄膜接触连接;其中,所述第一方向和所述第二方向均平行于所述衬底,且所述第一方向与所述第二方向垂直。
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