[实用新型]反射差分光学测量装置

摘要

本公开提供了一种反射差分光学测量装置，包括入射源、入射源处理装置、分束器、反射差分组件、出射源处理装置和出射源；光束由入射源进入测量装置，并被入射源处理装置处理后形成平行光束；平行光束通过分束器后产生出射光束；出射光束通过反射差分组件垂直入射样品表面；通过样品表面的出射光束再顺次通过反射差分组件和分束器后，输入出射源处理装置；通过出射源处理装置的出射光束汇聚进入出射源；相对于样品表面的入射光束和出射光束间的夹角为0°。本公开中分束器的设置，将入射光路与出射光路整合到一套装置中，体积小重量轻，性能可靠，垂直入射的光学结构，实现不限长度的工作距离，测量精度不受工作距离影响，易于调整。

主权项

1.一种反射差分光学测量装置，其特征在于，包括：入射源；入射源处理装置，对所述入射源的光进行处理以输出平行的入射光束；分束器，将入射源输出的入射光束反射进入光路，使通过分束器的出射光束继续透射到光路中；反射差分组件，对入射光束和/或出射光束进行偏振态和/或相位延迟上的调制；出射源处理装置，使出射光束汇聚进入出射源；出射源，收集出射光束并将其输出测量装置；样品表面的入射光束和出射光束间的夹角为0°。