[实用新型]一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构

摘要

本实用新型公开了一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，包括可竖直上升和下降的顶片组件，顶片组件包括多个托齿，每个托齿包括基板和固定设置在所述基板上的第一顶齿和第二顶齿，第一顶齿和第二顶齿之间限定出一个第一凹陷，相邻两个托齿的第二顶齿和第一顶齿之间限定出一个第二凹陷；并排设置的多个托齿形成多个顶齿、凹陷间隔排列的结构；顶片组件的相邻两个顶齿之间的距离设置为4.76mm，相邻两个凹陷之间的距离设置为4.76mm，相邻的顶齿和凹陷之间的距离设置为2.38mm。该用于自石英舟上取出硅片的顶片机构解决了传统真空吸盘机构无法高效吸取舟槽间距2.38mm的石英舟上的硅片的问题，提高了生产效率。

主权项

1.一种用于自石英舟上取出硅片的顶片机构，其特征在于，所述顶片机构包括基座和穿设在所述基座上的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括竖直设置的螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆由伺服电机驱动转动；在所述滚珠螺母上连接有一滑块，当所述螺杆转动时，所述滑块可随所述滚珠螺母竖直上升或下降；在所述滑块上安装有支撑座，在所述支撑座上安装有顶片组件，所述顶片组件包括并排设置的多个托齿，每个托齿包括基板和固定设置在所述基板上的第一顶齿和第二顶齿，所述第一顶齿和第二顶齿之间限定出一个第一凹陷，相邻两个托齿的第二顶齿和第一顶齿之间限定出一个第二凹陷；并排设置的多个托齿形成多个顶齿、凹陷间隔排列的结构；所述顶片组件的相邻两个顶齿之间的距离设置为4.76mm，相邻两个凹陷之间的距离设置为4.76mm，相邻的顶齿和凹陷之间的距离设置为2.38mm。