[实用新型]一种用于多晶硅的金刚线切割装置

摘要

本实用新型公开了多晶硅片切割领域内的一种用于多晶硅的金刚线切割装置及切割方法，该装置包括放线辊和收线辊，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；该方法包括步骤：放线辊储线段向收线辊放线，收线轮向放线轮放线，收线轮继续向放线轮放出金刚线，同时晶托下降，晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片，放线轮向收线轮放线，收线轮向放线辊储线段放线，放线辊储线段再向收线辊储线段放线，放线辊储线段空跑线。本实用新型通过收线轮向放线轮输送金刚线，确保切割晶棒第一刀均是采用新线，避免产生入刀TTV，入刀翘曲和线痕等问题。

主权项

1.一种用于多晶硅的金刚线切割装置，其特征在于，包括放线辊和收线辊，放线辊和收线辊的轴线互相平行，放线辊和收线辊之间平行设置有两个螺纹辊，螺纹辊外周设有螺纹槽，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线垂直，所述放线辊的上方设有轴线互相平行的第一导向轮、第二导向轮和第三导向轮，第一导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述收线辊的上方设有轴线互相平行的第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，第四导向轮的轴线与放线辊的轴线垂直，所述放线辊上卷绕有金刚线，放线辊放出的金刚线依次绕过第一导向轮、第二导向轮、第三导向轮、两螺纹辊、第四导向轮、第五导向轮和第六导线轮，最后收回卷绕在收线辊上；金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网；所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒。