[实用新型]一种抽气装置有效
申请号: | 201820834287.1 | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN208389587U | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 陈伟元 | 申请(专利权)人: | 深圳市赛姆烯金科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B08B15/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种抽气装置,与调整装置,GM处理装置以及微蚀装置其中一个或多个连接,所述调整装置,GM处理装置以及微蚀装置均设置在箱体内,其中,所述抽气装置包括多个气管,所述抽气装置与GM处理装置、微蚀装置以及调整装置均至少通过一个气管连接,在气管与箱体连接处,位于箱体内部设置有空气质量传感器,通过所述传感器检测箱体内的空气质量,在多个气管的末端还设置有加压装置,通过所述加压装置作用,对箱体进行抽气,通过本实用新型所述装置能够对箱体内的气体进行抽出,减少污染气体对石墨烯板的侵蚀。 | ||
搜索关键词: | 抽气装置 处理装置 调整装置 微蚀装置 气管 加压装置 空气质量传感器 本实用新型 传感器检测 减少污染 气管连接 箱体连接 箱体内部 石墨烯 抽气 抽出 侵蚀 | ||
【主权项】:
1.一种抽气装置,与调整装置,GM处理装置以及微蚀装置其中一个或多个连接,所述调整装置,GM处理装置以及微蚀装置均设置在箱体内,其特征在于,所述抽气装置包括多个气管,所述抽气装置与GM处理装置、微蚀装置以及调整装置均至少通过一个气管连接,在气管与箱体连接处,位于箱体内部设置有空气质量传感器,通过所述传感器检测箱体内的空气质量,在多个气管的末端还设置有加压装置,通过所述加压装置作用,对箱体进行抽气。
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