[实用新型]一种MOCVD反应器

摘要

本实用新型提供一种MOCVD反应器，包括：反应腔，反应腔内下部包括位于底部的旋转轴，旋转轴上设置有基片托盘，反应腔内顶部包括一个进气装置，提供反应气体到下方的基片托盘，基片托盘下方包括一个加热器和一个分隔壁，所述分隔壁围绕所述加热器和旋转轴；一个气体导流环围绕所述进气装置和基片托盘之间的空间，所述气体导流环中包括用于供冷却液流通的管道，所述气体导流环可以上下移动；一个隔热板围绕所述基片托盘，所述隔热板遮挡在所述基片托盘和所述气体导流环之间，其中隔热板的上端位于基片托盘的上下表面之间，使得基片托盘边缘向外辐射的热量减少。

主权项

1.一种MOCVD反应器，包括：反应腔，反应腔内包括位于底部的旋转装置，旋转装置上方设置有基片托盘，所述旋转装置支撑并驱动所述基片托盘，反应腔内顶部包括一个进气装置，提供反应气体到下方的基片托盘，基片托盘下方包括一个加热器和一个分隔壁，所述分隔壁围绕所述加热器；所述基片托盘和所述反应腔侧壁之间设置一隔热板，所述隔热板至少包围所述基片托盘的部分区域。