[实用新型]一种气相沉积炉尾气过滤除焦装置

摘要

本实用新型涉及一种气相沉积炉尾气过滤除焦装置，它包括过滤机体，过滤机体底部一侧表面设有尾气入口，过滤机体内部设有旋转轴，旋转轴底部设置有驱动电机，旋转轴上设置有旋转板，过滤机体内底部设置有接油箱，过滤机体外部设置有储液箱，储液箱内放有焦油清洗剂，储液箱连接水泵，水泵另一端通过水管连接雾化器，雾化器另一端连接雾化钢管，雾化钢管插入过滤机体内部，位于过滤机体内雾化钢管的端部设置有喷嘴，过滤机体顶部设有尾气出口。本实用新型的有益效果为：旋转板快速旋转，使雾化后的焦油清洗剂和尾气中的焦油产生较大的接触面积，从而能够有效的清除尾气中的焦油，结构简单，实用方便。

主权项

1.一种气相沉积炉尾气过滤除焦装置，其特征在于：它包括过滤机体，所述过滤机体下侧表面开设有尾气入口，所述过滤机体内部设置有旋转轴，所述旋转轴上固定设置有旋转板，所述旋转板位于所述尾气出口上方，所述过滤机体内底部设置有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出轴上设置有第一主动齿轮，所述旋转轴底部设置有第一从动齿轮，所述第一从动齿轮连接所述第一主动齿轮；所述过滤机体外部设置有储液箱，所述储液箱内放有焦油清洗液，所述储液箱连接水泵，所述水泵的另一端通过水管连接雾化器，所述雾化器另一端连接雾化钢管，所述雾化钢管插入所述过滤机体内部，所述雾化钢管上设置有喷嘴，所述喷嘴位于所述过滤机体内部，所述过滤机体上侧表面开设有尾气出口。