[实用新型]一种蒸镀用修正装置

摘要

一种蒸镀用修正装置，通过横向移动横支杆，确保遮挡板与承载架和坩埚同轴，移动到位后通过锁止装置Ⅱ锁止。通过移动套管，可以使其沿立柱调整高度，从而满足遮挡板相对承载架相对高度可以调整的目的，调整到位后通过锁止装置Ⅰ锁止。由于遮挡板上沿圆周方向设置有多个修正孔，修正孔为扇形结构，其靠近圆心位置开口小，其外侧开口大，从而坩埚中加热蒸发材料蒸发时，蒸发材料在靠近圆心位置通过修正孔后的流量和流速小于通过修正孔外侧部位的流量和流速，从而当电机Ⅱ驱动承载架转动使，承载架上的激光器可以满足内部和外部均匀蒸镀的效果，使蒸发质量可以满足一致性，提高了成品率。

主权项

1.一种蒸镀用修正装置，设置于蒸镀设备中的坩埚（11）以及位于坩埚（11）上方的水平设置的用于放置激光器的承载架（13），其特征在于，还包括：电机Ⅱ（12），安装于蒸镀设备中，其输出轴连接于承载架（13）；设置于蒸镀设备中的底座（1），底座（1）上竖直设置有立柱（2）；套管（4），滑动套装于立柱（2）上，套管（4）通过锁止装置Ⅰ相对立柱（2）锁止固定；横支管（5），其水平安装于套管（4）上，其内部沿轴向设置有滑孔；横支杆（6），水平插装于横支管（5）的滑孔中，横支杆（6）通过锁止装置Ⅱ相对横支管（5）锁止固定；圆形的遮挡板（10），水平设置于横支杆（6）的头端，遮挡板（10）位于承载架（13）与坩埚（11）之间，遮挡板（10）与承载架（13）及坩埚（11）相同轴设置，遮挡板（10）沿圆周方向间隔设置有N个呈扇形的修正孔（14），所述修正孔（14）由圆心向外侧方向开口逐渐变大。