[实用新型]一种安全控制系统及一种光刻机曝光系统有效
| 申请号： | 201820842546.5 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208399891U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 刘婷婷;黄伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种安全控制系统，包括：多个互锁开关、互锁回路、安全控制板卡及安全机构；其中，所述互锁回路接收多个所述互锁开关的信号；所述安全控制板卡获取所述互锁回路的信号，并依据接收的信号控制所述安全机构的状态。通过所述互锁回路对需安全保护的系统进行安全防护，通常是在工艺设备中出现问题后，安全控制系统暂停工艺，并发出指示预警，使操作者能及时发现故障，避免人体被伤害，使存在潜在危害的工艺安全可靠。所述安全控制板卡根据所述互锁回路的信号获取可能导致故障的因素，便于维修需安全保护的系统；并通过本系统进行安全控制，可弥补软件安全保护缺陷。增加操作面板的权限限制，从而加强安全保护意识和措施。 | ||
| 搜索关键词： | 互锁回路 安全控制 安全控制系统 板卡 安全保护 安全机构 互锁开关 光刻机曝光系统 软件安全保护 本实用新型 安全防护 便于维修 操作面板 工艺安全 工艺设备 加强安全 权限限制 信号获取 信号控制 预警 伤害 发现 | ||
【主权项】：
1.一种安全控制系统，其特征在于，包括：多个互锁开关、互锁回路、安全控制板卡及安全机构；其中，所述互锁回路接收多个所述互锁开关的信号；所述安全控制板卡获取所述互锁回路的信号，并依据接收的信号控制所述安全机构的状态。
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