[实用新型]一种4寸规格的硅片寻边单元台子

摘要

本实用新型涉及一种4寸规格的硅片寻边单元台子，有硅片寻边单元上板、硅片寻边单元下板、传感器；所述硅片寻边单元上板位于传感器到硅片寻边单元下板上部；传感器安装于硅片寻边单元下板上，距离硅片寻边单元下板中心距离为47mm；从而使I10Nikon光刻机能做4寸片，满足技术需求。

主权项

1.一种4寸规格的硅片寻边单元台子，其特征是：包括有硅片寻边单元上板；所述硅片寻边单元上板下方为硅片寻边单元下板；所述硅片寻边单元下板上有传感器，所述传感器距离所述硅片寻边单元下板中心距离为47mm；所述传感器需要改成4寸规格，所述传感器所在的位置需要钻两个孔进行安装，安装好之后调节信号；装上按4寸规格测绘外部加工的卡盘，换好之后要检查真空有无漏，做平台平坦度测量；所述硅片寻边单元上板、所述硅片寻边单元上板的规格设定中改成4寸的规格；进行软件、硬件匹配调试。