[实用新型]一种提高升华效率的真空升华舟装置有效
| 申请号： | 201820852952.X | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN209076082U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈志宽;陈智学 | 申请（专利权）人： | 宜兴凡远光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214221 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高升华效率的真空升华舟装置，包括外层石英管；外层石英管之内放置有升华舟；还包括上温区加热模块和下温区加热模块；所述上温区加热模块和下温区加热模块合并包裹在所述外层石英管之外；在上温区加热模块和下温区加热模块之外包裹有炉壳；在上温区加热模块与外层石英管之间和/或下温区加热模块与外层石英管之间安装有嵌入式可控电磁阵列；还包括多个磁性球体；所述磁性球体均匀排列在所述升华舟的内壁上；待升华材料放置在所述升华舟之内。本实用新型增加了材料的升华面积，还可以加强热传递效果，提高升华效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热模块 温区 外层石英管 升华 本实用新型 磁性球体 真空升华 热传递效果 电磁阵列 均匀排列 升华材料 嵌入式 可控 炉壳 内壁 合并 | ||
【主权项】：
1.一种提高升华效率的真空升华舟装置，其特征在于，包括外层石英管(4)；外层石英管(4)之内放置有升华舟(5)；还包括上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)；所述上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)合并包裹在所述外层石英管(4)之外；在上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)之外包裹有炉壳(1)；在上温区加热模块(2)与外层石英管(4)之间和/或下温区加热模块(3)与外层石英管(4)之间安装有嵌入式可控电磁阵列(6)；还包括多个磁性球体(7)；所述磁性球体(7)均匀排列在所述升华舟(5)的内壁上；待升华材料放置在所述升华舟(5)之内。
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