[实用新型]一种电镀液分散能力评价装置有效
| 申请号： | 201820855255.X | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN208328164U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 朱凯;何为;喻涛;王守绪;王翀;陈苑明;周国云;李清华;艾克华;王青云 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;四川英创力电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D5/02 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 610031 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种电镀液分散能力评价装置，属于金属电镀及电沉积技术领域。本实用新型提出的电镀液分散能力评价装置中，电镀阴极组件包括位于其表面的第一电镀阴极阵列和位于其通孔或盲孔内的第二电镀阴极阵列，通过在阴极组件上开孔实现第二电镀阴极阵列与电镀液的接触，很好地还原了镀件上微观区域的流场环境和电场串扰，以及受扩散控制的物质传递差异，能更加准确地评价镀液的微观分散能力；同时，电镀阴极组件孔中的第二电镀阴极阵列与其表面的第一电镀阴极阵列与电镀阳极之间的距离是不同的，也可实现对镀液在受限流场条件下的宏观分散能力的评价。本实用新型提供的评价装置，测量速度快，测量值准确，能实现对镀液的微观分散能力的评价。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 阴极阵列 分散能力 评价装置 电镀液 阴极组件 镀液 本实用新型 微观分散 流场 测量 电沉积技术 电镀阳极 金属电镀 扩散控制 微观区域 物质传递 电场 上开孔 串扰 镀件 盲孔 受限 通孔 还原 宏观 | ||
【主权项】：
1.一种电镀液分散能力评价装置，其特征在于：包括电源、电镀槽、电镀阳极、电镀阴极组件，其中，所述电镀阴极组件与所述电镀阳极平行设置；所述电镀阴极组件靠近电镀阳极侧的表面设置有第一电镀阴极，所述第一电镀阴极通过电气互连线路连接在一起形成一个阵列；所述电镀阴极组件的表面还设置呈阵列式分布的通孔或盲孔；所述通孔的孔壁上设置有一个或者多个第二电镀阴极，所述盲孔的孔底或者侧壁设置有一个或者多个第二电镀阴极；设置在通孔或者盲孔上相同几何位置的第二电镀阴极通过电气互连线路连接在一起形成一个阵列；第二电镀阴极阵列与电镀阳极之间的距离大于第一电镀阴极阵列与电镀阳极之间的距离。
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