[实用新型]同步冷却式激光显微系统

摘要

本实用新型公开了一种同步冷却式激光显微系统，包括同步冷却系统、用于将激光束聚焦于被检对象上的后侧激光聚焦装置和位于后侧激光聚焦装置前方的后续激光处理装置，后续激光处理装置包括外侧光处理装置、前侧激光聚焦装置和激光探测装置；同步冷却系统包括后侧激光聚焦冷却装置和前侧激光聚焦冷却装置，后侧激光聚焦冷却装置和前侧激光聚焦冷却装置均为自循环式冷却装置。本实用新型结构设计合理且使用操作简便、使用效果好，能有效提高激光显微系统性能，并且采用同步冷却系统对后侧激光聚焦装置和前侧激光聚焦装置分别进行同步冷却，使激光聚焦组件的冷却速度快且各区域的冷却效果一致、冷却效果好，能有效减少激光功率损耗。

主权项

1.一种同步冷却式激光显微系统，其特征在于：包括同步冷却系统、用于将激光束聚焦于被检对象上的后侧激光聚焦装置(102)和位于后侧激光聚焦装置(102)前方的后续激光处理装置，所述被检对象为位于待检位上的待测对象(108)，所述待检位为后侧激光聚焦装置(102)的聚焦点；所述后续激光处理装置位于所述待检位的正前方；所述后续激光处理装置包括对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的外侧光线进行处理的外侧光处理装置(106)、对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的中部光束进行聚焦的前侧激光聚焦装置(114)和经前侧激光聚焦装置(114)聚焦后的光束进行检测的激光探测装置(126)，所述外侧光处理装置(106)位于所述被测对象的正前方，所述前侧激光聚焦装置(114)位于外侧光处理装置(106)的正前方或正后方，所述激光探测装置(126)位于前侧激光聚焦装置(114)的正前方；所述外侧光处理装置(106)为衍射装置；所述后侧激光聚焦装置(102)和前侧激光聚焦装置(114)的结构相同且二者均包括外壳(1)和安装在外壳(1)内的激光聚焦组件，所述外壳(1)为呈水平布设的环形壳体，所述激光聚焦组件呈竖直向布设且其与外壳(1)呈同轴布设；所述外壳(1)为空心壳体，所述空心壳体包括内侧壳体(1‑1)、两个环形封盖(1‑3)和同轴套装在内侧壳体(1‑1)外侧的外侧壳体(1‑2)，所述内侧壳体(1‑1)和外侧壳体(1‑2)的横截面形状相同且二者的长度相同，所述内侧壳体(1‑1)和外侧壳体(1‑2)之间的空腔为环形冷却腔，所述环形冷却腔的两端分别通过一个所述环形封盖(1‑3)进行封堵，所述环形封盖(1‑3)与内侧壳体(1‑1)呈垂直布设，所述内侧壳体(1‑1)和外侧壳体(1‑2)通过两个所述环形封盖(1‑3)连接为一体；所述外壳(1)后侧设置有激光入射窗(3)，所述激光入射窗(3)位于所述激光聚焦组件的正后方；所述外壳(1)前侧设置有激光出射窗(4)，所述激光出射窗(4)位于所述激光聚焦组件的正前方；所述同步冷却系统包括对后侧激光聚焦装置(102)进行冷却的后侧激光聚焦冷却装置和对前侧激光聚焦装置(114)进行冷却的前侧激光聚焦冷却装置，所述后侧激光聚焦冷却装置和所述前侧激光聚焦冷却装置的结构均相同且二者均为自循环式冷却装置；所述自循环式冷却装置包括两个冷却液循环管路，两个所述冷却液循环管路的结构相同；每个所述冷却液循环管路均包括一个冷却液输送管(20)和一个螺旋缠绕在内侧壳体(1‑1)上的螺旋冷却管(5)，所述冷却液输送管(20)的出液端与螺旋冷却管(5)的进液端连接，所述螺旋冷却管(5)的出液端与冷却液输送管(20)的进液端连接，所述冷却液输送管(20)上装有对冷却液进行泵送的液体泵送装置和对所述冷却液进行冷却的制冷装置(19)；所述螺旋冷却管(5)为从内侧壳体(1‑1)一端螺旋缠绕至另一端的螺旋管，所述螺旋冷却管(5)位于所述环形冷却腔内，所述外侧壳体(1‑2)上开有供螺旋冷却管(5)的进液端和出液端穿出的通孔；所述自循环式冷却装置中两个所述螺旋冷却管(5)的进液端分别位于所述环形冷却腔的两端。