[实用新型]一种直射式观察窗有效

专利信息
申请号: 201820868599.4 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN208308956U 公开(公告)日: 2019-01-01
发明(设计)人: 钱军;王福平 申请(专利权)人: 爱发科真空技术(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52;C23C14/30;C23C14/26
代理公司: 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人: 刘宪池
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种直射式观察窗,设置在真空镀膜设备腔体门上,它包括从腔体门外部向内部依次设置的外层玻璃、回转玻璃和防着板,所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,所述回转玻璃相对固定地连接在外层玻璃内侧的回转轴上,并可跟随回转轴同步旋转,所述外层玻璃外侧的回转轴端部上固定有把手,所述防着板上设有观察孔。本实用新型至少具有直射式观察,图像清晰、维护周期长、观察范围可增大等优点。
搜索关键词: 外层玻璃 回转轴 直射式 回转玻璃 防着板 观察窗 腔体 真空镀膜设备 本实用新型 同步旋转 图像清晰 维护周期 依次设置 地连接 观察孔 可转动 观察 门外 把手 贯穿
【主权项】:
1.一种直射式观察窗,设置在真空镀膜设备腔体门上,其特征在于:它包括从腔体门外部向内部依次设置的外层玻璃、回转玻璃和防着板,所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,所述回转玻璃相对固定地连接在外层玻璃内侧的回转轴上,并可跟随回转轴同步旋转,所述外层玻璃外侧的回转轴端部上固定有把手,所述防着板上设有观察孔。
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