[实用新型]一种料盒式硅片转移机构

摘要

本实用新型公开了一种料盒式硅片转移机构，所述转移机构包括输送组件和设置在所述输送组件后端的承载台，在所述承载台的后端设置有挡块，在所述承载台的下方设置有升降模组，在所述承载台的两侧相对设置有两组风刀组件，每组所述风刀组件包括水平设置的底板和竖直固定在所述底板前后两端的前支撑体和后支撑体，在所述各支撑体上部安装有风刀，所述转移机构还包括机械手组件和控制器。该料盒式硅片转移机构，其承载台上挡块及承载台两侧底板、支撑体的设置提高了料盒的定位精度，提高了硅片的转移效率；所述风刀，其风向和气流稳定性高，提升了料盒内硅片的分片效果，有效避免了卡片、叠片、碎片等情况的发生，且风刀运作调试更易达到预期效果。

主权项

1.一种料盒式硅片转移机构，其特征在于，所述转移机构包括输送组件和设置在所述输送组件后端的承载台，其中，所述输送组件用于运送装有层叠硅片的料盒至所述承载台上；在所述承载台的后端设置有挡块，所述挡块用于定位被运送至所述承载台上的所述料盒；在所述承载台的下方设置有升降模组，所述升降模组用于顶起承载台上的所述料盒；在所述承载台的两侧相对设置有两组风刀组件，每组所述风刀组件包括水平设置的底板和竖直固定在所述底板前后两端的前支撑体和后支撑体，所述承载台两侧的底板可相互靠近以归正所述料盒；在所述各支撑体上部安装有风刀，所述风刀用于向所述料盒内的硅片吹风以将所述层叠的硅片分开；所述转移机构还包括机械手组件和控制器，所述机械手组件用于自所述料盒内逐片抓取硅片，所述控制器用于控制所述输送组件及所述升降模组的启停。