[实用新型]一种连续式快速降温退火炉有效
| 申请号： | 201820877573.6 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208240629U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 徐伟;项卫光;李有康;李晓明 | 申请（专利权）人： | 浙江正邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C23C14/58 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 柯利进 |
| 地址： | 321400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及本实用新型所述一种连续式快速降温退火炉，包括设在机架上的炉管，该炉管左右两端分别设有进口活动门和出口活动门，其特征是：所述炉管其左边段中的外部环设有加热装置，该段炉管内腔相应为恒温区；炉管右边段中的外部环设有冷却装置，该段炉管内腔相应为冷却区，并且恒温区与冷却区之间的炉管内腔相应为缓冷区，该缓冷区中设有隔热活动门；所述炉管进口至恒温区左端之间的炉管内腔相应为预热区，冷却区右端至炉管出口之间的炉管内腔相应为出口区；所述预热区、缓冷区和出口区的炉管上分别设有进气管；所述炉管左右两端部上分别设有排气管及排气阀，所述炉管的恒温区和冷却区中分别设有温度传感器。它具有快速降温，生产效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 炉管内腔 恒温区 冷却区 快速降温 缓冷区 本实用新型 出口区 活动门 连续式 退火炉 外部环 预热区 隔热活动门 温度传感器 左右两端部 加热装置 冷却装置 炉管出口 炉管进口 生产效率 进气管 排气阀 排气管 左端 进口 出口 | ||
【主权项】：
1.一种连续式快速降温退火炉，包括设在机架上的炉管，该炉管左右两端分别设有进口活动门和出口活动门，其特征是：所述炉管其左边段中的外部环设有加热装置，该段炉管内腔相应为恒温区；炉管右边段中的外部环设有冷却装置，该段炉管内腔相应为冷却区，并且恒温区与冷却区之间的炉管内腔相应为缓冷区，该缓冷区中设有隔热活动门；所述炉管进口至恒温区左端之间的炉管内腔相应为预热区，冷却区右端至炉管出口之间的炉管内腔相应为出口区；所述预热区、缓冷区和出口区的炉管上分别设有进气管；所述炉管左右两端部上分别设有排气管及排气阀，所述炉管的恒温区和冷却区中分别设有温度传感器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
