[实用新型]一种扫描电子显微镜系统有效
| 申请号： | 201820888588.2 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN208208712U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟;王瑞平 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;H01J37/145;H01J37/147;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 蒋雅洁;张颖玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 扫描电子显微镜系统 磁透镜 分析器 交叉场 汇聚 复合物镜 偏转装置 入射 本实用新型 电子束偏转 透镜 待测样品 光轴运动 倾斜入射 电子源 上极靴 下极靴 样品台 光轴 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜系统，其特征在于，所述扫描电子显微镜系统包括：由电透镜和磁透镜构成的复合物镜；位于所述磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧的电磁交叉场分析器；所述复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；以及位于所述磁透镜的下极靴孔内，改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至样品台上的待测样品的镜后偏转装置。
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