[实用新型]一种绑定式旋转靶材有效
申请号: | 201820908484.3 | 申请日: | 2018-06-11 |
公开(公告)号: | CN208501086U | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 李喜峰;姜姝;陈龙龙;杨祥;潘成超;谈艳阳 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 程华 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种绑定式旋转靶材,包括靶管、衬管、支撑片、电阻丝和绝缘层,支撑片置于衬管内侧,电阻丝设置于支撑片的外侧,绝缘层包裹于电阻丝的外侧,衬管套装于靶管内,靶管和衬管之间填充有金属焊料。本实用新型的绑定式旋转靶材通过将加热组件直接置于衬管内侧,使衬管均匀加热,减少加热所用时间,提高加热效率,降低加热组件的热量损失,节约成本,延长加热组件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 衬管 加热组件 旋转靶材 电阻丝 支撑片 靶管 本实用新型 绝缘层 绝缘层包裹 加热效率 金属焊料 均匀加热 热量损失 使用寿命 填充 加热 节约 | ||
【主权项】:
1.一种绑定式旋转靶材,其特征在于:包括靶管、衬管、支撑片、电阻丝和绝缘层,所述支撑片置于所述衬管内侧,所述电阻丝设置于所述支撑片的外侧,所述绝缘层包裹于所述电阻丝的外侧,所述衬管套装于所述靶管内,所述靶管和所述衬管之间填充有金属焊料。
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