[实用新型]实现超真空状态的冷凝头控制系统有效
| 申请号： | 201820909191.7 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN208752420U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡国进;杨世刚 | 申请（专利权）人： | 重庆金鹰自动化工程有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 重庆天成卓越专利代理事务所(普通合伙) 50240 | 代理人： | 路宁 |
| 地址： | 401120 重庆市北*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统，包括：冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端，冷头控制器加热工作端连接加热器工作端，冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端，冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端，冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端，冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端，冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端，冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端。 | ||
| 搜索关键词： | 工作端 冷头 控制器 控制端 控制系统 真空状态 隔离阀 冷凝头 真空规 粗抽 本实用新型 控制器电机 远程控制端 加热器 远程终端 触摸屏 清洗阀 加热 清洗 电机 | ||
【主权项】：
1.一种实现超真空状态的冷凝头控制系统，其特征在于，包括：冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端，冷头控制器加热工作端连接加热器工作端，冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端，冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端，冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端，冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端，冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端，冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端；温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端，真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端，远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端，远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端，冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端，电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。
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