[实用新型]一种硅片舟翻转及转移装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片舟翻转及转移装置，包括翻转机构、转移机构及存放机构，其中，所述翻转机构连接在所述转移机构上，用于夹持竖立状态的硅片舟，并将所述硅片舟翻转至横平状态；所述转移机构包括龙门架及设置在所述龙门架上的转移组件，所述转移组件用于带动所述翻转机构沿X轴、Y轴和Z轴移动，以夹持所述存放机构内竖立状态的硅片舟或将所述横平状态的硅片舟放置于所述存放机构内；所述存放机构设置于所述转移机构下方，用于放置硅片舟。所述硅片舟翻转及转移装置，实现了将竖立放置状态的硅片舟横平放置于指定位置处的自动化操作，提高硅片舟的翻转及转移效率，节省人力，降低生产成本。

主权项

1.一种硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，包括翻转机构、转移机构及存放机构，其中，翻转机构：连接在所述转移机构上，用于夹持竖立状态的硅片舟，并将所述硅片舟翻转至横平状态；包括顶板、设置于所述顶板上的旋转气缸和连接在所述顶板下方的夹持组件，所述夹持组件用于夹持所述竖立状态的硅片舟，所述旋转气缸用于驱动所述夹持组件翻转；转移机构：包括龙门架及设置在所述龙门架上的转移组件，所述转移组件用于带动所述翻转机构沿X轴、Y轴和Z轴移动，以夹持所述存放机构内竖立状态的硅片舟或将所述横平状态的硅片舟放置于所述存放机构内；存放机构：设置于所述转移机构下方，用于放置硅片舟；包括竖立放置区和横平放置区，所述竖立放置区用于放置所述竖立状态的硅片舟，所述横平放置区用于放置所述横平状态的硅片舟。