[实用新型]柔性太阳能电池窗口层生产设备

摘要

本实用新型公开了一种柔性太阳能电池窗口层生产设备。该柔性太阳能电池窗口层生产设备使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜，同时通过隔板将放卷辊和收卷辊设置于上层内，铜罩A和冷却轴设置于中层内，多个铜罩B设置于下层内，三块分开，在更好的控制腔体层内温度溅射镀膜的同时，进一步防止材料交叉污染，同时防止柔性太阳能电池卷开卷时水汽带入的颗粒进入溅射镀膜区域。

主权项

1.一种柔性太阳能电池窗口层生产设备，包括腔体，其特征是，所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统，腔体内通过隔板隔离成上层、中层和下层，三层间仅留输送通道的输送口，放卷辊和收卷辊设置于上层内，铜罩A和冷却轴设置于中层内，多个铜罩B设置于下层内。