[实用新型]一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具有效

专利信息
申请号: 201820929372.6 申请日: 2018-06-15
公开(公告)号: CN208323868U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 苏双图;张洁;赖柏帆;林武庆 申请(专利权)人: 福建北电新材料科技有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00;B28D5/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 362211 福建省泉州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,包括底座,底座的上表面安装有第一支撑杆和第二支撑杆,第一支撑杆和第二支撑杆的上端均设置有导向杆,导向杆的一端安装在固定圆环架上,固定圆环架的内表面安装有螺纹圆形锥套,螺纹圆形锥套的下端开设有圆形螺纹口,圆形螺纹口内安装有螺纹置中圆顶芯,螺纹置中圆顶芯的上表面设置有碳化硅晶棒。本实用新型快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,不仅降低了作业时间,提高了人员的作业效率,每根作业时间降低了3‑8min,而且晶棒中心的定位精度也得到有效的提高,粘晶棒端面治具外边缘距晶棒边缘误差距离降低了0‑1mm,同时也避免了由于人为测量晶棒会不小心撞到晶棒导致晶棒出现崩角等的人为不确定风险。
搜索关键词: 晶棒 碳化硅 支撑杆 螺纹 治具 快速寻找 本实用新型 固定圆环 导向杆 上表面 圆顶 锥套 底座 圆形螺纹口 边缘误差 距离降低 时间降低 圆形螺纹 作业效率 上端 棒端面 内表面 外边缘 下端 粘晶 测量
【主权项】:
1.一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面平行安装有第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3),所述第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3)的上端均设置有导向杆(4),所述导向杆(4)的一端安装在第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3)的内侧,所述导向杆(4)的另一端安装在固定圆环架(5)的外表面上,所述固定圆环架(5)的内表面安装有螺纹圆形锥套(6),所述螺纹圆形锥套(6)的下端开设有圆形螺纹口(61),所述圆形螺纹口(61)内安装有螺纹置中圆顶芯(7),所述螺纹置中圆顶芯(7)通过圆形螺纹口(61)与螺纹圆形锥套(6)螺纹连接,所述螺纹置中圆顶芯(7)的上表面设置有碳化硅晶棒(8),所述碳化硅晶棒(8)紧贴螺纹圆形锥套(6)的内壁,所述螺纹置中圆顶芯(7)的下表面设置有连接轴(9),所述连接轴(9)通过联轴器与电机(10)的输出轴连接,所述电机(10)安装在电机框架(11)内,所述电机框架(11)安装在底座(1)的上表面上。
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