[实用新型]一种全方向滑觉传感器有效
申请号: | 201820932692.7 | 申请日: | 2018-06-15 |
公开(公告)号: | CN208296855U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 张旻;肖聿翔;梁家铭;钱翔;董瑛;王晓浩 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01D5/16 | 分类号: | G01D5/16 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种全方向滑觉传感器,包括上部结构和下部结构,上部结构为一带有圆环形裙边的圆柱形结构,上部结构的材料为柔性材料,裙边的下表面上设有上电极,下部结构包括压阻薄膜、多个下电极和将压阻薄膜及多个下电极覆盖的绝缘薄膜,多个下电极围绕于压阻薄膜的外侧并间隔分布,压阻薄膜位于多个下电极围绕的中心,圆柱形结构的下表面对准压阻薄膜,传感器受到剪切力作用时,上部结构向力的方向倾斜,使得上电极与下部的绝缘薄膜接触,从而上电极与绝缘薄膜下方的下电极感应出电信号,传感器受到法向压力作用时,压阻薄膜在法向上发生形变,从而其自身电阻值随之改变。该滑觉传感器不仅能识别任意方向上的滑动,还能测量滑动的速度和剪切力大小。 | ||
搜索关键词: | 压阻薄膜 下电极 上部结构 滑觉传感器 绝缘薄膜 电极 圆柱形结构 下部结构 下表面 滑动 传感器 剪切力作用 圆环形裙边 法向压力 间隔分布 柔性材料 形变 剪切力 电阻 裙边 对准 测量 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种全方向滑觉传感器,其特征在于,包括上部结构和下部结构,所述上部结构为一带有圆环形裙边的圆柱形结构,所述上部结构的材料为柔性材料,所述裙边的下表面上设有上电极,所述下部结构包括压阻薄膜、多个下电极和将所述压阻薄膜及所述多个下电极覆盖的绝缘薄膜,所述多个下电极围绕于所述压阻薄膜的外侧并间隔分布,所述压阻薄膜位于所述多个下电极围绕的中心区域,所述圆柱形结构的下表面对准并压紧所述压阻薄膜,所述压阻薄膜用于测量法向压力,所述上电极和所述下电极用于感应不同滑动方向引起的摩擦起电信号,所述传感器受到剪切力作用时,所述上部结构向力的方向倾斜,使得所述上电极与下部的所述绝缘薄膜接触,从而所述上电极与所述绝缘薄膜下方的下电极感应出电信号,所述传感器受到法向压力作用时,所述压阻薄膜在法向上发生形变,从而其自身电阻值随之改变。
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