[实用新型]一种真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块有效
| 申请号： | 201820936933.5 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN211645373U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孔令刚;范多旺;蒋庆安;姚小明 | 申请（专利权）人： | 兰州交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州市江海阳光知识产权代理有限公司 32214 | 代理人： | 翁坚刚;汤志和 |
| 地址： | 730070 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块，该输出模块包括高速光耦、数模转换电路、基准电源电路、四种标准电压输出模式电路、两种标准电流输出模式电路和输出模式选择组合电路。本实用新型的的模拟量变换输出模块结构简单，调节方式多样，具有四种标准电压输出模式，且工作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 蒸发 控制 装置 模拟 变换 输出模块 | ||
【主权项】：
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