[实用新型]一种单晶硅片倒角装置有效

专利信息
申请号: 201820938874.5 申请日: 2018-06-19
公开(公告)号: CN208744407U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 王全文;李鹭;杨蛟 申请(专利权)人: 成都青洋电子材料有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B47/22;B24B55/06;B24B55/02
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 谢建;吴静宜
地址: 611230 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种单晶硅片倒角装置,属于硅片倒角设备技术领域,其目的在于解决现有技术中倒角设备在工作过程中难以很好清除磨削碎屑,磨削产生的热量难以很好散除问题,提供一种能够很好清除磨削碎屑,散热效果更好的单晶硅片倒角装置。本实用新型包括安装架,安装架上设置有第一电机,第一电机的第一输出轴连接有固定台,固定台的侧上方设置有砂轮,安装架还设有往复机构,往复机构可使砂轮与固定台之间的水平距离在一定范围内依次变化。本实用新型在工作工程中通过改变砂轮与硅片之间的间距从而增大硅片与砂轮的排屑以及散热空间,进而使整体达到很好的排屑以及散热效果。
搜索关键词: 砂轮 本实用新型 单晶硅片 倒角装置 安装架 固定台 硅片 倒角设备 磨削碎屑 散热效果 往复机构 排屑 电机 输出轴连接 工作工程 散热空间 水平距离 磨削
【主权项】:
1.一种单晶硅片倒角装置,包括安装架(1),安装架(1)上设置有第一电机(3),第一电机(3)的第一输出轴(4)连接有固定台(5),固定台(5)可绕第一输出轴(4)的轴线旋转,安装架(1)上位于固定台(5)的侧上方设置有砂轮(13),其特征在于:固定台(5)或砂轮(13)可沿安装架(1)的长度方向移动,安装架(1)还设有用于调整砂轮(13)与固定台(5)之间的水平距离的往复机构。
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