[实用新型]一种半导体单晶炉磁场装置升降装置有效
| 申请号： | 201820951865.X | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN208562587U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赖章田;贺贤汉;夏孝平;黄保强 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B30/04 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体单晶炉磁场装置升降装置，包括设置在磁场装置前后左右四个位置上的底板，以及设置在底板上的减速升降机组和导轨。四个减速升降机组通过一个减速电机控制实现同时升降，中间设置有联轴器、齿轮箱、轴承座以及硬轴；减速升降机组的升降杆上安装有升降连接座，该升降连接座的一端与磁场装置固定连接，另一端能够在导轨内上下移动，实现了采用一个减速电机控制四个减速升降机的同步运动，既有效解决了现有技术中磁场装置升降不同步的所导致的升降振动和噪音的问题，又有效降低了生产制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场装置 减速升降机 底板 半导体单晶 升降连接座 减速电机 升降装置 导轨 升降 生产制造成本 本实用新型 上下移动 升降振动 同步运动 有效解决 中间设置 齿轮箱 联轴器 升降杆 同步的 轴承座 硬轴 噪音 | ||
【主权项】：
1.一种半导体单晶炉磁场装置升降装置，带动单晶炉中的磁场装置进行升降动作，其特征在于，包括：设置在所述磁场装置前后左右四个位置上的底板，以及设置在所述底板上的减速升降机组和导轨，四个所述减速升降机组通过一个减速电机控制实现同时升降，中间设置有联轴器、齿轮箱、轴承座以及硬轴，所述减速升降机组的升降杆上安装有升降连接座，该升降连接座的一端与所述磁场装置固定连接，另一端能够在所述导轨内上下移动。
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