[实用新型]12英寸多功能扩展化学沉积制程腔设备

摘要

12英寸多功能扩展化学沉积制程腔设备，包括传送腔、准备腔、制程腔、冷却腔、晶圆承载台、工作台和机械手臂。所述的工作台呈长方形，与传送腔相连；所述的传送腔呈方形，中间有圆形孔洞，用于放置机械手臂，传送腔与工作台、冷却腔和制程腔相连；所述的冷却腔在传送腔和准备腔之间，内部含有晶圆承载台，用于晶圆在传送腔和准备腔间传输中转；所述的准备腔呈方形，与冷却腔、制程腔相连。本实用新型最多可进行10个制程反应，极大提高设备整体生产效率，进行制程优化配置。

主权项

1. 12英寸多功能扩展化学沉积制程腔设备，其特征在于：传送腔、准备腔、制程腔、冷却腔、晶圆承载台、工作台和机械手臂组成；所述的工作台与传送腔相连，传送腔与冷却腔和制程腔相连，所述的冷却腔在传送腔和准备腔之间，内部含有晶圆承载台，所述的准备腔与冷却腔和制程腔相连。