[实用新型]一种多线切割硅锭的装置有效

专利信息
申请号: 201820959715.3 申请日: 2018-06-21
公开(公告)号: CN208323866U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 刘群锋;马菲;胡楚汉;梁学勤;李宏;张军 申请(专利权)人: 宜昌南玻硅材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 成钢
地址: 443007 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型提供一种多线切割硅锭的装置,包括晶托和绕线切割装置,所述绕线切割装置包括第一导辊、第二导辊和切割线,多段切割线依次沿导辊的轴线方向环绕设置在第一导辊和第二导辊的外侧,第一导辊和第二导辊带动切割线往复移动,形成间断式切割线网,晶托位于绕线切割装置的上方,晶托下方粘接有多个硅锭,硅锭与切割线为线接触或点接触。采用分段式结构的切割线替代现有的连贯性线网,可根据待切割硅块的数量和长度,沿辊的轴线方向分段设置成不同数量和长度的间断式线网,能避开待切割硅块的端面和拼缝,有效解决晶体硅块之间的缝隙导致金刚线跳线或断线的难题,从而提高切割晶体硅片的质量和产量。
搜索关键词: 导辊 切割线 硅锭 线切割装置 晶托 线网 切割 多线切割 轴线方向 硅块 本实用新型 分段式结构 间断式切割 分段设置 环绕设置 晶体硅块 晶体硅片 有效解决 连贯性 点接触 间断式 金刚线 线接触 断线 多段 拼缝 跳线 粘接 避开 替代
【主权项】:
1.一种多线切割硅锭的装置,包括晶托(1)和绕线切割装置,其特征是:所述绕线切割装置包括第一导辊(2)、第二导辊(3)和切割线(4),多段切割线(4)依次沿导辊的轴线方向环绕设置在第一导辊(2)和第二导辊(3)的外侧,第一导辊(2)和第二导辊(3)带动切割线(4)往复移动,形成间断式切割线网,晶托(1)位于绕线切割装置的上方,晶托(1)下方粘接有多个硅锭(5),硅锭(5)与切割线(4)为线接触或点接触。
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