[实用新型]一种真空蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 201820962066.2 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN208440688U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空蒸发镀膜设备。所述真空蒸发镀膜设备包括蒸发腔室，用于支撑所述蒸发腔室的腔室支架，以及用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备。本实用新型的真空蒸发镀膜设备，设置了腔室支架用于支撑蒸发腔室，还设置了用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备，使蒸发源可以从腔室本体底部进出蒸发腔室，维护或添料时，所述驱动设备用于驱动蒸发源进出蒸发腔室，便于维护和换料；驱动设备的增设，有效减少了人力支出，大大降低了人工取放和操作蒸发源的难度，尤其是大体积大质量蒸发源的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发腔室 蒸发源 真空蒸发镀膜 驱动设备 本实用新型 腔室 驱动 支架 真空镀膜技术 腔室本体 有效减少 支撑 换料 取放 增设 维护 支出 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸发镀膜设备，其特征在于，包括蒸发腔室，用于支撑所述蒸发腔室的腔室支架，以及用于驱动蒸发源进出所述蒸发腔室的驱动设备。
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