[实用新型]硅片上料归正装置

摘要

本实用新型涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置、用于输送硅片的输送线及用于将硅片归正装置中的硅片一一转移至输送线上输入端的机械手，输送线的输出端设置有硅片在线纠偏装置；本实用新型采用硅片归正装置使硅片在进入到输送线之前首先进行一次归正，避免硅片在输送线上发生位置偏移和碎片的现象，然后由机械手将归正后的硅片一一转移至输送线上，当输送线上最前方硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由硅片在线纠偏装置对该硅片进行二次归正，以此确保硅片进入测试设备中的位置的准确性，从而提高硅片在测试设备中测试的准确性。

主权项

1.一种硅片上料归正装置，其特征在于：包括硅片归正装置(1)、用于输送硅片(6)的输送线(2)及用于将硅片归正装置(1)中的硅片(6)一一转移至输送线(2)上输入端的机械手(3)，所述输送线(2)的输出端设置有硅片在线纠偏装置(4)；所述硅片归正装置(1)包括底座(1‑1)及设置在底座(1‑1)上的承载板(1‑2)，所述底座(1‑1)上位于承载板(1‑2)的四侧均固定有定位柱(1‑3)，当硅片(6)放置在承载板(1‑2)上时，硅片(6)的四个侧面分别与其所在侧的定位柱(1‑3)接触；所述硅片在线纠偏装置(4)包括两个纠偏气缸(4‑1)，两个所述纠偏气缸(4‑1)的缸体分别固定输送线(2)的两侧，两个所述纠偏气缸(4‑1)的伸出端相互对置，所述纠偏气缸(4‑1)的伸出端上均固定有纠偏条(4‑2)。