[实用新型]三轴磁场传感器有效
| 申请号： | 201820970160.2 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN208689155U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 钱正洪;白茹;胡亮 | 申请（专利权）人： | 钱正洪;白茹 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 浙江省杭州市下沙高*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种三轴磁场传感器。本实用新型包括X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器。X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器均设置在衬底上，X/Y双轴磁场传感器与Z轴磁场传感器位置相邻；X/Y双轴磁场传感器的两组惠斯通电桥结构形成两个输出，实现X/Y轴磁场测量。Z轴磁场传感器在Z轴磁场作用下，产生两个方向不同的水平分量漏磁磁场，通过电桥感知并输出，实现Z轴磁场测量。本实用新型可实现单芯集成，三轴磁场传感器可实现单芯工艺层次的集成，即所有的磁敏电阻单元可以在同一种工艺中同时制成，集成度高、稳定性好、抗干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场传感器 双轴 三轴磁场传感器 本实用新型 磁场测量 单芯 惠斯通电桥结构 磁敏电阻单元 抗干扰能力 磁场作用 漏磁磁场 水平分量 输出 集成度 衬底 电桥 两组 感知 | ||
【主权项】：
1.三轴磁场传感器，包括X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器；其特征在于：所述的X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器均设置在衬底上，X/Y双轴磁场传感器与Z轴磁场传感器位置相邻；用于测量三轴磁场；所述的X/Y双轴磁场传感器包括双轴磁通引导器；双轴磁通引导器设置在衬底上，双轴磁通引导器外部框架为方环形或圆环形结构，两条对角线或两条垂直的对称轴将双轴磁通引导器分为四个区域；每个区域均开有磁敏电阻放置间隙；每个区域设置有一对磁敏电阻，磁敏电阻均设置在衬底上，一个磁敏电阻被双轴磁通引导器覆盖，另一磁敏电阻设置在磁敏电阻放置间隙内；检测同向磁场的两对磁敏电阻连成一组惠斯通电桥结构，两组惠斯通电桥形成两个输出；分别测量X轴和Y轴磁场分量；所述的Z轴磁场传感器包括单轴磁通引导器和两对磁敏电阻，两对磁敏电阻分别设置在单轴磁通引导器的两对边；两对磁敏电阻连成一组惠斯通电桥结构，形成一个输出，测量Z轴磁场分量；在Z轴磁场作用下，单轴磁通引导器两边边缘处产生具有不同方向水平分量的漏磁场，被分别位于两侧的两对面内敏感的磁敏电阻所感知，并由惠斯通电桥进行输出。
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