[实用新型]一种内藏式连接的模块式PSA设备结构

摘要

本实用新型公开了一种内藏式连接的模块式PSA设备结构，包括吸附塔模块、控制柜和底部支撑座，所述吸附塔模块和控制柜置于底部支撑座之上，所述吸附塔模块包括吸附塔和封盖，所述封盖的封盖底座有阶梯孔，通过阶梯孔和螺钉的配合实现前后相邻两个封盖的连接方式是内藏式，前后相邻两个封盖的通气道通过O型密封圈进行密封，封盖通过定位轴实现与吸附塔的连接，封盖的凸台结构有气孔，实现气流的流通。本实用新型的有益效果是：各吸附塔模块之间通过隐藏式的方式连接，在装配好后外观为一个整体，但实际又为相对独立的单元，方便进行维护、更换，且封盖具有很大程度的通用性，降低加工难度，提高加工效率。

主权项

1.一种内藏式连接的模块式PSA设备结构，包括吸附塔模块（2）、控制柜（1）和底部支撑座（3），所述吸附塔模块（2）和控制柜（1）置于底部支撑座（3）之上，所述吸附塔模块（2）有多件，其特征在于：所述吸附塔模块（2）包括吸附塔（5）和封盖，所述封盖包括上封盖（4）和下封盖（6），所述上封盖（4）与吸附塔（5）上侧连接，所述下封盖（6）与吸附塔（5）下侧连接，所述上封盖（4）与下封盖（6）镜像对称，所述下封盖（6）包括至少一个小封盖，所述小封盖包括封盖底座（7）、凸起结构（8）、气孔（19）、通气道（11）、槽口、阶梯孔（12）、螺纹孔（13）和定位销孔（16），所述凸起结构（8）置于封盖底座（7）的中间位置，所述凸起结构（8）置于吸附塔（5）内，所述凸起结构（8）的中间有凹槽，所述凹槽中间位置有气孔（19），所述气孔（19）与通气道（11）连接，所述通气道（11）贯穿封盖底座（7）且位于封盖底座（7）中间位置，所述槽口包括槽口A和槽口B（15），所述槽口A位于凸起结构（8）上，所述槽口B（15）置于通气道（11）一侧，所述阶梯孔（12）置于有通气道（11）一侧的封盖底座（7）上，所述阶梯孔（12）的小孔与槽口B（15）同侧且置于槽口B（15）的两侧，所述螺纹孔（13）置于有通气道（11）一侧的封盖底座（7）上，两个阶梯孔（12）和两个螺纹孔（13）组成一个方形，两个阶梯孔（12）和两个螺纹孔（13）分别位于所述方形的对角线上，所述定位销孔（16）有四件且位于封盖底座（7）四角。